等離子體腐蝕速率對(duì)比：??
| 材料 | Cl?等離子體(nm/min) | CF?/O?等離子體(nm/min) |
|---|---|---|
| 96% Al?O? | 25 | 18 |
| 99.5% Al?O? | ?8? | ?6? |
| 石英（對(duì)比） | 45 | 120 |
?表面強(qiáng)化技術(shù)：??
- ?晶界鈍化：??
- 真空滲硅處理（晶界生成莫來(lái)石相）
- 腐蝕速率↓40%
- ?功能涂層：??
- 磁控濺射AlCrN涂層（厚5μm）
- 耐Cl?腐蝕性提升10倍
- ?結(jié)構(gòu)防護(hù)：??
- 設(shè)計(jì)等電位屏蔽環(huán)（減少離子轟擊）
?光伏設(shè)備替換周期：??
| 部件 | 標(biāo)準(zhǔn)氧化鋁壽命 | 強(qiáng)化方案壽命 |
|---|---|---|
| 氣體噴淋頭 | 6個(gè)月 | ?3年? |
| 腔室內(nèi)襯 | 1年 | ?5年 |
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